附件C：譯文

一種新型綜合的多軸配置并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)機(jī)構(gòu)第1部分.關(guān)于制作的運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)

摘要
多軸微型和配置系統(tǒng)正越來(lái)越多地用于大部分的計(jì)量和工藝設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域納米科技。這一點(diǎn)，首要的一個(gè)由兩部分組成的系列文章對(duì)一種新型的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，平行運(yùn)動(dòng)軸XYZ維的配置（ pkxyznp ） 現(xiàn)階段，專注于發(fā)展一個(gè)可行的計(jì)劃，以實(shí)現(xiàn)抽象的空間轉(zhuǎn)化。第一，這個(gè)機(jī)械裝置是容納了兩個(gè)封閉形式解決方案;正向和反向運(yùn)動(dòng)學(xué)的問(wèn)題。雅可比與動(dòng)力系統(tǒng)表明，該機(jī)械結(jié)構(gòu)產(chǎn)生相關(guān)的比較大的工作量，并且能將高帶寬和均勻性融合交叉。制備系統(tǒng)描述隨著的一些基本測(cè)試，其雅可比及其模態(tài)頻率。用電容計(jì)，這樣的步驟是能產(chǎn)生85_m 左右的運(yùn)動(dòng)并沿每個(gè)軸分辨率約為2-4 nm左右。控制測(cè)試以及性能表現(xiàn)用來(lái)詳細(xì)討論相似的文件。
關(guān)鍵詞：納米;平行運(yùn)動(dòng)學(xué);柔性階段;運(yùn)動(dòng)學(xué)分析;步驟設(shè)計(jì)

1. 介紹
納米手段在現(xiàn)代技術(shù)中扮演一個(gè)越來(lái)越重要角色, 特別在微型和納米領(lǐng)域。 他們發(fā)現(xiàn)在微型和納米領(lǐng)域 (例如版本記錄石版印刷)，掃描探針顯微學(xué)的應(yīng)用，和各種各樣的掃描探用的探針或基于工具的計(jì)量學(xué)和處理設(shè)備[1-7]。 當(dāng)有很多納米手段的定義階段時(shí)，這里我們提到可能自動(dòng)地安置一個(gè)工作臺(tái)的系統(tǒng)(末端效應(yīng)器)與某一程度自主(DOF)在它的在線工作并且維護(hù)一些毫微米等級(jí)的方案。
特別是，這里我們處理彎曲階段和也許是一小部分一毫米的精確度，在氣浮軸承階段上相對(duì)的有能力有幾厘米的移動(dòng)范圍。這樣一些基于掃描系統(tǒng)的正在增加的納米手段的應(yīng)用，它的系統(tǒng)通常被描述為擁有大量工作范圍，高分辨率和高帶寬。 為了符合這些要求，研究集中在其中每一個(gè)重要組成的這些階段： 控制和作動(dòng)器、位置檢測(cè)器、聯(lián)接和運(yùn)動(dòng)學(xué)系統(tǒng)。這篇文章主要貢獻(xiàn)在運(yùn)動(dòng)學(xué)系統(tǒng)、分析和控制范圍內(nèi)獲得的協(xié)定，多軸的納米解決方案。 這些篇章介紹關(guān)于裝置了的XYZ坐標(biāo)系的一個(gè)新的運(yùn)動(dòng)學(xué)系統(tǒng)，分析系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)和動(dòng)力學(xué)特征，討論它的制造并且為系統(tǒng)提供塑造外形的測(cè)試結(jié)果。然而本文的重點(diǎn)在對(duì)一種新穎的平