Ag/FTO透明導電薄膜制備及其光電性能研究


2.3萬字 40頁 原創(chuàng)作品，已通過查重系統(tǒng)

目 錄
第1章 緒論 1
1.1 透明導電氧化物薄膜的概述 1
1.1.1 TCO薄膜的發(fā)展現(xiàn)狀 1
1.1.2 ITO、AZO和FTO性能對比 3
1.1.3 FTO薄膜的制備 4
1.2 FTO基雙層薄膜性能的優(yōu)化 5
1.2.1制備技術(shù)對透明導電薄膜性能的影響 6
1.2.2制備參數(shù)對透明導電薄膜性能的影響 7
1.2.3鍍膜類型對透明導電薄膜性能的影響 10
1.3 FTO薄膜的應用 11
1.3.1顯示器件中的應用 11
1.3.2建筑玻璃領(lǐng)域中的應用 11
1.3.3在光電、光熱、電熱以及氣敏器件中的應用 12
1.3.4其他方面的應用 12
1.4 本課題的目的、意義和研究內(nèi)容 12
第2章 Ag/FTO雙層復合透明導電薄膜的制備 13
2.1 實驗的設計 13
2.2 實驗部分 13
2.2.1 實驗材料 14
2.2.2 實驗儀器 14
2.2.3 實驗樣品的預處理 16
2.3 Ag/FTO薄膜的制備方法 17
2.3.1 鍍膜方法 17
2.3.2 退火處理方法 17
2.4 結(jié)果分析與討論 18
2.4.1 薄膜的生長過程 18
2.4.2 生長模式 19
2.4.3 不同厚度的金屬Ag層對Ag/FTO薄膜表面形貌的影響 20
2.4.4退火對Ag/FTO薄膜表面形貌的影響 21
2.5 本章小結(jié) 22
第3章 Ag/FTO薄膜光電性能測試與分析 23
3.1 樣品性能測試 23
3.1.1 紫外可見分光光度計 23
3.1.2 四探針測試儀 24
3.2 結(jié)果分析與討論 25
3.2.1 金屬Ag層厚度和退火對Ag/FTO薄膜表面光學性能的影響 25
3.2.2 金屬Ag層厚度和退火對Ag/FTO薄膜電學性能的影響 27
3.2.3 不同薄膜樣品的品質(zhì)因子 28
3.3 本章小結(jié) 29
第4章 結(jié)論與展望 30
4.1 結(jié)論 30
4.2 展望 30
致 謝 32
參考文獻 33





摘要 本文通過磁控濺射法制備出Ag/FTO雙層透明導電薄膜，并通過SEM、四探針測試儀、紫外-可見分光光度計對薄膜的形貌與性能進行表征和分析，探討了不同制備工藝參數(shù)對Ag/FTO雙層透明導電薄膜的光學、電學性能的影響，還計算了不同薄膜的品質(zhì)因子。主要結(jié)論如下：
(1) 探討了不同的金屬Ag層厚度對Ag/FTO雙層透明導電薄膜表面光學性能的影響。由于金屬Ag層透光性能差，因此與單層FTO透明導電薄膜相比，Ag/FTO雙層透明導電薄膜的透光率會有所降低，且隨著金屬Ag層的厚度的增加而下降。
(2) 探討了不同的金屬Ag層厚度對Ag/FTO雙層透明導電薄膜電學性能的影響。與單層FTO薄膜相比，鍍Ag后的 Ag/FTO雙層透明導電薄膜具有更高的導電率，且導電率隨著金屬Ag層厚度的增加而不斷增加。
(3) 對不同薄膜樣品的綜合光電性能進行了評價。金屬Ag層厚度為5 nm、且經(jīng)過退火處理的Ag/FTO 雙層透明導電薄膜的綜合光電性能最好，其品質(zhì)因子為11.0×10-3 Ω-1。

關(guān)鍵詞：Ag/FTO薄膜 磁控濺射 光電性能 品質(zhì)因子