基 于 M EM S技 術(shù) 的 氧 氣 微 傳 感 器 機(jī) 理 研 究 與 設(shè) 計(jì)
頁數(shù) 6 字?jǐn)?shù) 3516
摘 要 ：
采 用 溶 膠 一凝 膠 (Sol-ge1)法 制 備 氧 敏 感 膜 ，并 對(duì) 其 不 同 的 藥 品 配 比 進(jìn) 行 成 膜 質(zhì) 量 與 響 應(yīng) 時(shí) 間 的 測(cè) 試 與 比 較 。設(shè) 計(jì) 一 系列 實(shí)驗(yàn) 對(duì) 該 傳 感 器 的 氧 敏 感 機(jī) 理 進(jìn) 行 研 究 。 結(jié) 合 MEMS技 術(shù) ，設(shè) 計(jì) MOSFET 氧 氣 微 傳 感 器 結(jié) 構(gòu) ，在 器 件 中 集 成 了加 熱 元 件 和 測(cè) 溫 元 件 。 實(shí) 驗(yàn) 結(jié) 果 表 明 ：該 傳 感 器 響 應(yīng) 時(shí) 間 快 ，有 較 高 的 靈 敏 度 ，較 好 的 重 復(fù) 性 、選 擇 性 和 穩(wěn) 定 性 。 該 傳感 器 的機(jī)理 研 究與 設(shè)計(jì) 為基 于 MEMS技 術(shù)的 氧 氣微傳 感 器的 深入研 究提供 一 定 的參 考 。
關(guān) 鍵 詞 ：氧 氣 ；MEMS；微 傳 感 器

目錄

1 引 言
2 原 理 與 實(shí) 驗(yàn)
3 MEMS氧 氣 微 傳 感 器
4 加 熱 元 件 與 測(cè) 溫 元 件 的 設(shè) 計(jì)
5 總結(jié)