微機(jī)械慣性傳感器檢測(cè)平臺(tái)的設(shè)計(jì)與應(yīng)用

全文約4300字 論述翔實(shí)

摘要：一種用于微機(jī)械慣性傳感器研制與開(kāi)發(fā)的檢測(cè)平臺(tái)，介紹電容式慣性傳感器微電容信號(hào)的檢測(cè)原理、該系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)、各個(gè)組成部分的工作原理及自動(dòng)檢測(cè)方法。

關(guān)鍵詞：微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS） 微機(jī)械陀螺（MMG） 檢測(cè)

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，許多新的科學(xué)領(lǐng)域相繼涌現(xiàn)，其中微米/納米技術(shù)就是諸多領(lǐng)域中引人注目的一項(xiàng)前沿技術(shù)。20世紀(jì)90年代以來(lái)，繼微米/納米技術(shù)成功應(yīng)用于大規(guī)模集成電路制作后，以集成電路工藝和微機(jī)械加工工藝為基礎(chǔ)的各種微傳感器和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）脫穎而出，平均年增長(zhǎng)率達(dá)到30%。微機(jī)械陀螺是其中的一個(gè)重要組成部分。目前，世界各個(gè)先進(jìn)工業(yè)國(guó)家都十分重視對(duì)MMG的研究及開(kāi)發(fā)，投入了大量人力物力，低精度的產(chǎn)品已經(jīng)問(wèn)世，正在向高精度發(fā)展。