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　利用氣囊方法磨拋非球面透鏡的模具

Hocheol Lee, Junguk Kim and Hyunhyung Kang
Department of Mechanical Engineering, Hanbat National University, Daejeon, 305-719, Korea
摘要：
　　　這篇論文主要陳述了利用一種新型氣囊工具磨拋小型非球面透鏡的模具。對于碳化鎢這種模具材料，需要一種極其精細的磨拋技術(shù)來使之產(chǎn)生非球面形狀。盡管如此，螺旋形模式產(chǎn)生的多余刀具劃痕和不可避免的磨痕出現(xiàn)在模具的表面。因此，后面的磨拋要求能夠獲得光學(xué)級別的表面。沒有軌跡控制的重疊足跡法用于精細非球面透鏡模具的磨拋。一種白光干涉儀驗證了工具劃痕被消除了。最終的表面粗糙度可以達到Ra 2nm級別。顯微鏡觀察同樣展示出一個光潔的沒有刮痕的表面。

關(guān)鍵詞： 氣囊工具，非球面透鏡，足跡，磨拋，工具劃痕