微電子機械系統(tǒng)技術概述.doc
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微電子機械系統(tǒng)技術概述,[摘要] 作為一種新興的技術，微電子機械技術蘊含著多學科的知識，在機械的制造與加工方面發(fā)揮了重要的作用。本文重點闡述了微電子機械系統(tǒng)的相應概念，微電子機械系統(tǒng)的加工工藝和微電子機械糸統(tǒng)技術國內外研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢。[關鍵字] 微電子；機械；系統(tǒng)；趨勢 隨著技術的進步和各個學科的交叉，微電子技術作為...
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此文檔由會員 小吳11 發(fā)布微電子機械系統(tǒng)技術概述
[摘要] 作為一種新興的技術，微電子機械技術蘊含著多學科的知識，在機械的制造與加工方面發(fā)揮了重要的作用。本文重點闡述了微電子機械系統(tǒng)的相應概念，微電子機械系統(tǒng)的加工工藝和微電子機械糸統(tǒng)技術國內外研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢。
[關鍵字] 微電子；機械；系統(tǒng)；趨勢
隨著技術的進步和各個學科的交叉，微電子技術作為一種新型的
技術在各行各業(yè)得到了廣泛的應用，特別是對機械制作與加工行業(yè)起
到了積極的促進作用。微電子機械系統(tǒng)是在傳統(tǒng)的機械加工工藝基礎
上，結合軟X 射線深層光刻電鑄成型工藝和半導體硅微機加工工藝進
行的器件制作的系統(tǒng)，在微電子機械的加工中占據(jù)重要的地位。
