微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)概述.doc
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微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)概述,[摘要] 作為一種新興的技術(shù)，微電子機(jī)械技術(shù)蘊(yùn)含著多學(xué)科的知識，在機(jī)械的制造與加工方面發(fā)揮了重要的作用。本文重點(diǎn)闡述了微電子機(jī)械系統(tǒng)的相應(yīng)概念，微電子機(jī)械系統(tǒng)的加工工藝和微電子機(jī)械糸統(tǒng)技術(shù)國內(nèi)外研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢。[關(guān)鍵字] 微電子；機(jī)械；系統(tǒng)；趨勢 隨著技術(shù)的進(jìn)步和各個(gè)學(xué)科的交叉，微電子技術(shù)作為...
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此文檔由會員 小吳11 發(fā)布微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)概述
[摘要] 作為一種新興的技術(shù)，微電子機(jī)械技術(shù)蘊(yùn)含著多學(xué)科的知識，在機(jī)械的制造與加工方面發(fā)揮了重要的作用。本文重點(diǎn)闡述了微電子機(jī)械系統(tǒng)的相應(yīng)概念，微電子機(jī)械系統(tǒng)的加工工藝和微電子機(jī)械糸統(tǒng)技術(shù)國內(nèi)外研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢。
[關(guān)鍵字] 微電子；機(jī)械；系統(tǒng)；趨勢
隨著技術(shù)的進(jìn)步和各個(gè)學(xué)科的交叉，微電子技術(shù)作為一種新型的
技術(shù)在各行各業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用，特別是對機(jī)械制作與加工行業(yè)起
到了積極的促進(jìn)作用。微電子機(jī)械系統(tǒng)是在傳統(tǒng)的機(jī)械加工工藝基礎(chǔ)
上，結(jié)合軟X 射線深層光刻電鑄成型工藝和半導(dǎo)體硅微機(jī)加工工藝進(jìn)
行的器件制作的系統(tǒng)，在微電子機(jī)械的加工中占據(jù)重要的地位。
