亞微米級微進給驅(qū)動器的研制

2.34萬字 51頁 原創(chuàng)作品，已通過查重系統(tǒng)

目錄
第一章 緒論 1
1.1課題的研究背景及意義 1
1.2國內(nèi)外微進給驅(qū)動器的研究現(xiàn)狀 2
1.3微位移機構(gòu)的介紹 2
1.4課題研究的主要內(nèi)容 4
1.5方案合理性分析 5
第二章 幾種微進給驅(qū)動器 5
2.1 常見微進給驅(qū)動器 5
2.1.1 機械式微進給機構(gòu) 9
2.1.2 電磁式微進給機構(gòu) 9
2.1.3 壓電式微進給機構(gòu) 11
2.1.4電熱式微進給機構(gòu) 12
2.1.5 直線電機式微進給機構(gòu) 13
2.1.6 液壓式微進給機構(gòu) 14
2.1.7 彈性式微進給機構(gòu) 14
2.2幾種新型微進給驅(qū)動器 14
2.2.1 形狀記憶合金(SMA) 微進給機構(gòu) 15
2.2.2 石蠟微量進給驅(qū)動器 16
2.2.3 多自由度微量進給驅(qū)動器 17
2.3 本章小結(jié) 17
第三章 微驅(qū)動器的設(shè)計 17
3.1 壓電纖維的介紹 17
3.2 微位移驅(qū)動器設(shè)計 19
3.2.1 驅(qū)動器結(jié)構(gòu)設(shè)計基本原則 19
3.2.2 微驅(qū)動器位移輸出原理方案選擇 19
3.2.3 導軌形式的選擇 21
3.2.4 其他機構(gòu)設(shè)計 21
3.3 微驅(qū)動器的精度及表面粗糙度設(shè)計 22
3.3.1 機構(gòu)主要零件精度確定基本原則 22
3.3.2 機構(gòu)主要零件精度確定 23
3.3.3 機構(gòu)主要零件表面粗糙度確定 23
3.4 壓電效應(yīng) 23
3.4.1 壓電效應(yīng)簡介 24
3.4.2 壓電效應(yīng)機理 24
3.4.3 正壓電效應(yīng) 24
3.4.4 逆壓電效應(yīng) 25
3.5 MFC有限元分析過程 26
3.6 本章小結(jié) 28
第四章 微驅(qū)動器的性能實驗 28
4.1實驗設(shè)備的介紹 28
4.1.1 驅(qū)動電源的選擇 28
4.1.2 測量儀器的選擇 29
4.1.3 固定裝夾部件的選擇 31
4.2 微驅(qū)動器的性能實驗與分析 32
4.2.1 驅(qū)動器輸入-輸出特性實驗分析 33
4.2.2 驅(qū)動器重復定位特性實驗分析 35
4.2.3 驅(qū)動器遲滯特性實驗分析 38
4.2.4 驅(qū)動器輸出位移蠕變特性實驗分析 43
4.3本章小結(jié) 43
第五章 研究結(jié)論與展望 43
5.1研究結(jié)論 43
5.2方案經(jīng)濟可行性分析 44
5.3 展望 45
致謝 46
參考文獻 47








摘要 精密制造與測量以及顯微操作技術(shù)已逐漸成為實現(xiàn)先進制造的重要技術(shù)，其中高精度的定位技術(shù)是實現(xiàn)先進制造的基礎(chǔ)技術(shù)和關(guān)鍵技術(shù)之一，在近代工業(yè)生產(chǎn)和眾多科學研究領(lǐng)域內(nèi)都有著非常重要的地位。微位移驅(qū)動器是實現(xiàn)精密定位的功能部件，同時也是核心部件，故隨著精密定位技術(shù)的不斷發(fā)展，我們需要致力于新型微位移驅(qū)動器的驅(qū)動機理與應(yīng)用基礎(chǔ)的研究，以滿足現(xiàn)代先進制造產(chǎn)業(yè)對精密定位技術(shù)的要求。
本文基于對國內(nèi)外微位移驅(qū)動器的廣泛研究采用壓..