亞微米級(jí)微進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器的研制

2.34萬字 51頁 原創(chuàng)作品，已通過查重系統(tǒng)

目錄
第一章 緒論 1
1.1課題的研究背景及意義 1
1.2國內(nèi)外微進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器的研究現(xiàn)狀 2
1.3微位移機(jī)構(gòu)的介紹 2
1.4課題研究的主要內(nèi)容 4
1.5方案合理性分析 5
第二章 幾種微進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器 5
2.1 常見微進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器 5
2.1.1 機(jī)械式微進(jìn)給機(jī)構(gòu) 9
2.1.2 電磁式微進(jìn)給機(jī)構(gòu) 9
2.1.3 壓電式微進(jìn)給機(jī)構(gòu) 11
2.1.4電熱式微進(jìn)給機(jī)構(gòu) 12
2.1.5 直線電機(jī)式微進(jìn)給機(jī)構(gòu) 13
2.1.6 液壓式微進(jìn)給機(jī)構(gòu) 14
2.1.7 彈性式微進(jìn)給機(jī)構(gòu) 14
2.2幾種新型微進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器 14
2.2.1 形狀記憶合金(SMA) 微進(jìn)給機(jī)構(gòu) 15
2.2.2 石蠟微量進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器 16
2.2.3 多自由度微量進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器 17
2.3 本章小結(jié) 17
第三章 微驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì) 17
3.1 壓電纖維的介紹 17
3.2 微位移驅(qū)動(dòng)器設(shè)計(jì) 19
3.2.1 驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)基本原則 19
3.2.2 微驅(qū)動(dòng)器位移輸出原理方案選擇 19
3.2.3 導(dǎo)軌形式的選擇 21
3.2.4 其他機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì) 21
3.3 微驅(qū)動(dòng)器的精度及表面粗糙度設(shè)計(jì) 22
3.3.1 機(jī)構(gòu)主要零件精度確定基本原則 22
3.3.2 機(jī)構(gòu)主要零件精度確定 23
3.3.3 機(jī)構(gòu)主要零件表面粗糙度確定 23
3.4 壓電效應(yīng) 23
3.4.1 壓電效應(yīng)簡介 24
3.4.2 壓電效應(yīng)機(jī)理 24
3.4.3 正壓電效應(yīng) 24
3.4.4 逆壓電效應(yīng) 25
3.5 MFC有限元分析過程 26
3.6 本章小結(jié) 28
第四章 微驅(qū)動(dòng)器的性能實(shí)驗(yàn) 28
4.1實(shí)驗(yàn)設(shè)備的介紹 28
4.1.1 驅(qū)動(dòng)電源的選擇 28
4.1.2 測量儀器的選擇 29
4.1.3 固定裝夾部件的選擇 31
4.2 微驅(qū)動(dòng)器的性能實(shí)驗(yàn)與分析 32
4.2.1 驅(qū)動(dòng)器輸入-輸出特性實(shí)驗(yàn)分析 33
4.2.2 驅(qū)動(dòng)器重復(fù)定位特性實(shí)驗(yàn)分析 35
4.2.3 驅(qū)動(dòng)器遲滯特性實(shí)驗(yàn)分析 38
4.2.4 驅(qū)動(dòng)器輸出位移蠕變特性實(shí)驗(yàn)分析 43
4.3本章小結(jié) 43
第五章 研究結(jié)論與展望 43
5.1研究結(jié)論 43
5.2方案經(jīng)濟(jì)可行性分析 44
5.3 展望 45
致謝 46
參考文獻(xiàn) 47








摘要 精密制造與測量以及顯微操作技術(shù)已逐漸成為實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制造的重要技術(shù)，其中高精度的定位技術(shù)是實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制造的基礎(chǔ)技術(shù)和關(guān)鍵技術(shù)之一，在近代工業(yè)生產(chǎn)和眾多科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)都有著非常重要的地位。微位移驅(qū)動(dòng)器是實(shí)現(xiàn)精密定位的功能部件，同時(shí)也是核心部件，故隨著精密定位技術(shù)的不斷發(fā)展，我們需要致力于新型微位移驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)機(jī)理與應(yīng)用基礎(chǔ)的研究，以滿足現(xiàn)代先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)對(duì)精密定位技術(shù)的要求。
本文基于對(duì)國內(nèi)外微位移驅(qū)動(dòng)器的廣泛研究采用壓..