深海環(huán)境下MEMS電導(dǎo)池形變特性有限元件分析

1.55萬字 35頁 原創(chuàng)作品，通過查重系統(tǒng)


摘 要
MEMS的中文名稱是微機電系統(tǒng)，它的發(fā)展壯大是依托在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上，成為多學(xué)科相互涉及的科學(xué)前沿技術(shù)。與傳統(tǒng)機械加工方法制造的傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、重量輕、功耗低、加工精度高、可大批量生產(chǎn)、成本低、易于集成等優(yōu)點，隨著現(xiàn)如今人們對海洋觀測的需求不斷的增加和海洋觀測的技術(shù)不斷向前發(fā)展，MEMS技術(shù)正在逐步進入海洋觀測技術(shù)的研究領(lǐng)域。電導(dǎo)率傳感器是最常用的海洋觀測器件之一，而電導(dǎo)池是電導(dǎo)率傳感器的主要組成部分，當(dāng)采用MEMS加工工藝制作的電導(dǎo)池處在深海環(huán)境中時，受到海水壓力的影響，電導(dǎo)池會產(chǎn)生形變，從而影響海水電導(dǎo)率的測量和傳感器的性能。本文以MEMS電導(dǎo)池為研究對象，采用有限元軟件仿真的手段，對深海環(huán)境下MEMS電導(dǎo)池的形變特性進行理論模擬，并對模擬結(jié)果進行適當(dāng)?shù)姆治鲅芯?，研究的結(jié)果可以用于指導(dǎo)深海環(huán)境中MEMS電導(dǎo)率傳感器性能的提升。


關(guān)鍵詞：深海環(huán)境下；MEMS電導(dǎo)池；形變特性；有限元件分析；ANSYS