附件C：譯文

使用光學(xué)凝聚X線體層照相術(shù)的激光加工處理的三維無(wú)損光學(xué)評(píng)估
摘要：通過(guò)對(duì)激光加工后的坑和邊緣特征的成像處理，我們來(lái)說(shuō)明光學(xué)凝聚X線體層照相術(shù)（OCT）作為一種評(píng)估激光加工性能的無(wú)損診斷工具的用處。使用常規(guī)電子掃描顯微鏡（SEM）和光學(xué)凝聚X線體層照相術(shù)對(duì)在不同激光加工條件下形成的凹坑成像處理。然后使用相應(yīng)的圖像，對(duì)凹坑的幾何特征進(jìn)行分析和比較。從這些結(jié)果中，我們可以檢驗(yàn)應(yīng)用OCT來(lái)監(jiān)測(cè)激光加工性能的可行性和潛力。
關(guān)鍵詞：光學(xué)凝聚X線體層照相術(shù)（OCT），無(wú)損診斷，激光標(biāo)號(hào)

1.引言
超短波脈沖激光的發(fā)展增加了我們對(duì)激光和材料間相互作用行為的根本理解，并且大功率激光技術(shù)的進(jìn)步促進(jìn)了激光基材料加工的技術(shù)發(fā)展。大功率和短脈沖激光的發(fā)展，使采用典型機(jī)械工具完成的常規(guī)材料加工由工業(yè)等級(jí)的激光取代了，例如二氧化碳和摻釹釔鋁石榴石激光（Nd ：YAG），它們具有成本效益優(yōu)勢(shì)，高精度和無(wú)接觸處理的特點(diǎn)。
雖然激光基材料加工在制造過(guò)程的控制中顯示出高的自由度，但是不必要的樣品變形普遍地發(fā)生在各種各樣的激光加工中，例如雕刻、標(biāo)記、切割、彎曲和焊接，這是由于激光放射條件的不正當(dāng)使用。為了防止激光加工質(zhì)量的降低，許多研究人員把注意力集中于使用光學(xué)、聲學(xué)、熱學(xué)和計(jì)算方法的診斷技術(shù)的發(fā)展。例如，聲波可以用來(lái)作為探測(cè)工件焊縫情況的一種手段。在焊接過(guò)程中，當(dāng)卷流迅速擴(kuò)張時(shí)形成的沖擊波產(chǎn)生了聲波。在激光焊接銅的過(guò)程中，高溫計(jì)和紅外輻射傳感器用來(lái)監(jiān)測(cè)表面的溫度變化。另外，激光誘導(dǎo)的超聲波在檢測(cè)焊縫質(zhì)量中顯示了很大的可用性；電壓電流霍爾傳感器的應(yīng)用對(duì)檢測(cè)焊縫質(zhì)量也是有用的。另外還有更多剝削監(jiān)測(cè)方法包括光學(xué)和可見(jiàn)的方法。
激光加工的光學(xué)檢查方法通常使用光源范圍從紫外到紅外的光電二極管或光電二極管列陣。在許多情況下，使用光學(xué)檢查方法可以測(cè)量高度聚焦的激光束產(chǎn)生的等離子，并且可能從測(cè)量中得到飛濺和水珠狀的信息。測(cè)量和分析在焊接條件下產(chǎn)生的不同顏色光源的光譜，可以確定處理機(jī)制和光學(xué)信號(hào)變異之間的相互作用。另外，使用激光光譜學(xué)，例如激光誘導(dǎo)衰減光譜學(xué)和激光誘導(dǎo)熒光光譜學(xué)，得到的可怕分析信息用來(lái)監(jiān)測(cè)激光基清潔處理的質(zhì)量。