ZAO(摻鋁氧化鋅)透明導(dǎo)電膜的制備及其性能的研究
Study on the Preparation and Properties of Aluminum-doped Zinc Oxide Films

1.5萬字 34頁 原創(chuàng)作品，已通過查重系統(tǒng)


摘要 ZAO導(dǎo)電膜由于自身優(yōu)良的光學(xué)和電學(xué)性質(zhì)而備受人們青睞。與傳統(tǒng)的TIO導(dǎo)電膜相比ZAO導(dǎo)電膜具有如下一些突出的優(yōu)點:原材料在自然界中的儲量豐富、易于制造、成本低廉、無毒、熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性好。因此具有廣闊的應(yīng)用前景適用于平板顯示器、太陽電池、熱鏡、電磁防護(hù)屏、氣敏傳感器等，因此，ZAO透明導(dǎo)電薄膜必將成為新一代透明導(dǎo)電氧化物薄膜的代表。
當(dāng)前，ZAO透明導(dǎo)電薄膜的制備還存在以下問題:大面積成膜的技術(shù)設(shè)備還不過關(guān)，實驗的可重復(fù)性和可靠性不好，薄膜的厚度和成分都不均勻，質(zhì)量不好，
不同設(shè)備的最佳制備參數(shù)差別也很大。因此，通過對 ZAO 導(dǎo)電膜制備的研究，分析各制備參數(shù)和薄膜光學(xué)、電學(xué)等物理性質(zhì)之間的內(nèi)在關(guān)系，摸索出最佳制備條件，制備出性能優(yōu)良的 ZAO 導(dǎo)電膜，具有重要意義。
本實驗中，我們使用直流磁控濺射裝置，采用反應(yīng)濺射的方法，在普通無機(jī)
玻璃襯底上制備摻鋁氧化鋅(ZAO)薄膜，通過改變襯底溫度、濺射功率、反應(yīng)氣壓等條件，制備出不同的 ZAO 薄膜樣品，利用 XRD、四針探測儀、紫外-可見分光光度計等測量儀器對薄膜的結(jié)構(gòu)與性能進(jìn)行表征和分析，研究了不同工藝參數(shù)對薄膜結(jié)構(gòu)，電學(xué)，光學(xué)性能的影響。



關(guān)鍵詞:直流反應(yīng)磁控濺射，ZAO(摻鋁氧化鋅)導(dǎo)電膜，微觀結(jié)構(gòu)，制備參數(shù)，光電性能