激光水下切割硅片生產(chǎn)系統(tǒng)搬運流水線設(shè)計.doc
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激光水下切割硅片生產(chǎn)系統(tǒng)搬運流水線設(shè)計,the pipeline design of handing production systemof laser underwater cutting the wafers2.2萬字 57頁原創(chuàng)作品，已通過查重系統(tǒng)摘要 本文針對為解決氣體輔助激光切割硅片中由于熱效應(yīng)的影響而造成無法...
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激光水下切割硅片生產(chǎn)系統(tǒng)搬運流水線設(shè)計
The pipeline design of handing production system of laser underwater cutting the wafers
2.2萬字 57頁 原創(chuàng)作品，已通過查重系統(tǒng)
摘 要 本文針對為解決氣體輔助激光切割硅片中由于熱效應(yīng)的影響而造成無法達(dá)到切割目的的問題，使用水作為輔助介質(zhì)進(jìn)行對硅的切割實驗，對其搬運流水線系統(tǒng)部分進(jìn)行了詳盡的設(shè)計，以負(fù)責(zé)維持激光切割機(jī)物料按需供應(yīng)。
本文對硅片切割工藝的歷史，現(xiàn)狀和發(fā)展進(jìn)行了系統(tǒng)詳盡的研究，同時介紹了激光水下切割硅片的發(fā)展史以及工業(yè)化激光水下切割硅片系統(tǒng)搬運流水線設(shè)計關(guān)鍵技術(shù)。
詳細(xì)敘述了該系統(tǒng)設(shè)計的軟硬件設(shè)計，包括流水線設(shè)計，料倉下料搬運機(jī)械手的設(shè)計，工作臺上料機(jī)械手的硬件設(shè)計以及基于PLC的機(jī)電一體化控制過程的系統(tǒng)軟件設(shè)計。通過嘗試性的設(shè)計和研究，設(shè)計出一套激光水下切割硅片裝置流水線系統(tǒng)，基于該裝置系統(tǒng)，可以設(shè)計上下游物流供應(yīng)鏈，使之形成完整的產(chǎn)線。進(jìn)一步完善激光水下切割硅片技術(shù)的自動化需求。
關(guān)鍵詞： 激光水下切割 流水線 PLC
The pipeline design of handing production system of laser underwater cutting the wafers
2.2萬字 57頁 原創(chuàng)作品，已通過查重系統(tǒng)
摘 要 本文針對為解決氣體輔助激光切割硅片中由于熱效應(yīng)的影響而造成無法達(dá)到切割目的的問題，使用水作為輔助介質(zhì)進(jìn)行對硅的切割實驗，對其搬運流水線系統(tǒng)部分進(jìn)行了詳盡的設(shè)計，以負(fù)責(zé)維持激光切割機(jī)物料按需供應(yīng)。
本文對硅片切割工藝的歷史，現(xiàn)狀和發(fā)展進(jìn)行了系統(tǒng)詳盡的研究，同時介紹了激光水下切割硅片的發(fā)展史以及工業(yè)化激光水下切割硅片系統(tǒng)搬運流水線設(shè)計關(guān)鍵技術(shù)。
詳細(xì)敘述了該系統(tǒng)設(shè)計的軟硬件設(shè)計，包括流水線設(shè)計，料倉下料搬運機(jī)械手的設(shè)計，工作臺上料機(jī)械手的硬件設(shè)計以及基于PLC的機(jī)電一體化控制過程的系統(tǒng)軟件設(shè)計。通過嘗試性的設(shè)計和研究，設(shè)計出一套激光水下切割硅片裝置流水線系統(tǒng)，基于該裝置系統(tǒng)，可以設(shè)計上下游物流供應(yīng)鏈，使之形成完整的產(chǎn)線。進(jìn)一步完善激光水下切割硅片技術(shù)的自動化需求。
關(guān)鍵詞： 激光水下切割 流水線 PLC
