本文首先介紹了介質(zhì)光波導(dǎo)和聲表面波理論，討論了光波調(diào)制及聲光作用原理，深入研究了聲表面波對(duì)條波導(dǎo)的相位調(diào)制。對(duì)氧化鋅薄膜和叉指換能器進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)和性能結(jié)構(gòu)參數(shù)的選擇，氧化鋅薄膜參數(shù)為5000 1000 3 ，叉指換能器參數(shù)為：叉指對(duì)數(shù)N=17、中心距 =27.19 、聲光頻率f0=48MHz、中心指長(zhǎng)L0=4.46mm。研究了氧化鋅薄膜、叉指換能器的制備工藝，進(jìn)行了大量的實(shí)驗(yàn)研究，總結(jié)給出了基本的工藝制作過程和一些注意事項(xiàng)。
對(duì)所完成的器件進(jìn)行了測(cè)試研究：微觀結(jié)構(gòu)觀察、膜厚精確測(cè)試，獲得了較理想的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。