摘要：近年來，由于納米技術的進步發(fā)展，高精度工作臺獲得了廣泛的重視。在受控對象含有積分特性的情況下，論文提出了一種基于內模控制的響應快、控制精度高的控制方法。首先，我們提出將內?？刂茟糜诜e分對象所存在的一些問題。接著，為了克服這些問題，我們對內?？刂埔肓烁蓴_觀測器。針對積分對象，基于干擾觀測器的內?？刂疲噍^于傳統(tǒng)的內?？刂贫裕哂袩o超調、易設計以及易實現的優(yōu)點。實驗結果表明，文中提出的控制系統(tǒng)獲得了高精度的定位性能，并且在存在摩擦干擾的情況下，依然能保持穩(wěn)定的魯棒性。