新型半導(dǎo)體納米線光子器件及關(guān)鍵制備工藝.doc
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新型半導(dǎo)體納米線光子器件及關(guān)鍵制備工藝,納米線制作field-effect transistors, single-electron transistors, light-emitting devices,和 chemical sensors經(jīng)過積極地探索,造福人類。因?yàn)?-d尺度上的量子限制效應(yīng),電子空穴表現(xiàn)出新穎的物理現(xiàn)象。納米線需要控制size均勻,位...


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納米線制作Field-effect transistors, single-electron transistors, light-emitting devices,和 chemical sensors經(jīng)過積極地探索,造福人類。因?yàn)?-D尺度上的量子限制效應(yīng),電子空穴表現(xiàn)出新穎的物理現(xiàn)象。
納米線需要控制SIZE均勻,位置均勻,獲得較好的納米線器件性質(zhì)。選擇面SA-MOCVD生長納米線,能獲得高質(zhì)量納米線陣列。
電流的傳輸速度有限,II-V族化合物處理傳輸光信號和電信號,光學(xué)互聯(lián)有更好的效果,能利用光速快的優(yōu)點(diǎn)。所以需要尋找Si晶片上的單片集成光源。Si、Ge是間接帶隙,光源需要直接帶隙的材料。III-V族化合物(GaAs、InP)是直接帶隙,但是Si和III-V有較大的晶格失配。III-V的在Si上的外延生長溫度較高,比GaAs、InP襯底上生長III-V化合物生長溫度高,所以III-V族材料集成到Si晶片上,比較困難。
太陽電池需要多個(gè)帶隙的III-V材料,不同帶隙的材料光生電流,
納米線需要控制SIZE均勻,位置均勻,獲得較好的納米線器件性質(zhì)。選擇面SA-MOCVD生長納米線,能獲得高質(zhì)量納米線陣列。
電流的傳輸速度有限,II-V族化合物處理傳輸光信號和電信號,光學(xué)互聯(lián)有更好的效果,能利用光速快的優(yōu)點(diǎn)。所以需要尋找Si晶片上的單片集成光源。Si、Ge是間接帶隙,光源需要直接帶隙的材料。III-V族化合物(GaAs、InP)是直接帶隙,但是Si和III-V有較大的晶格失配。III-V的在Si上的外延生長溫度較高,比GaAs、InP襯底上生長III-V化合物生長溫度高,所以III-V族材料集成到Si晶片上,比較困難。
太陽電池需要多個(gè)帶隙的III-V材料,不同帶隙的材料光生電流,
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