梯度摻雜CCTO/ZnO復(fù)合薄膜的制備及性能研究

2萬字 50頁 原創(chuàng)作品，獨(dú)家提交，已通過查重系統(tǒng)

摘 要
梯度摻雜復(fù)合CCTO/ZnO薄膜是一種既擁有大的電容量，又擁有壓敏特性的新型薄膜材料。用其制成的元件等效于壓敏電阻器和電容器的并聯(lián)，在集成電路等方面有很大的應(yīng)用前景。
本文應(yīng)用溶膠-凝膠法在硅片上制備梯度摻雜復(fù)合薄膜。所研究的薄膜包括CCTO薄膜，CCTO/ZnO復(fù)合薄膜，梯度摻雜CCTO薄膜和梯度摻雜CCTO/ZnO復(fù)合薄膜。應(yīng)用X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、壓敏電阻直流參數(shù)分析儀和阻抗分析儀等測試手段表征薄膜樣品的相組成、顯微結(jié)構(gòu)、壓敏性能和介電性能。
用溶膠-凝膠法在硅片上制備的CCTO薄膜，實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)退火溫度對薄膜表面結(jié)構(gòu)、晶粒的大小和介電性能有一定的影響。而CCTO薄膜的物相組成也與退火溫度有關(guān)。實(shí)驗(yàn)制備的CCTO薄膜的介電常數(shù)高達(dá)7800。采用溶膠-凝膠法制備的梯度摻雜CCTO薄膜、CCTO/ZnO復(fù)合薄膜和梯度摻雜CCTO/ZnO復(fù)合薄膜，通過分析表明梯度摻雜CCTO/ZnO復(fù)合薄膜的壓敏性能和介電性能是最好的。


關(guān)鍵詞：梯度摻雜；壓敏性能；介電性能；溶膠-凝膠法