附件C：譯文
控制，自動(dòng)化和系統(tǒng)的國(guó)際會(huì)議，
2007年10月17至20，韓國(guó)，首爾，COEX.

抑制高速常駐永磁直線電機(jī)（PMLM）推力波動(dòng)控制算法的研究
京全金，楊滿崔，鄭宰全，大甲Gwoen（韓國(guó)高級(jí)科學(xué)和技術(shù)研究所，機(jī)械工程系，
Deajeon ，韓國(guó)，電話+82-42-869-8763; E-mail: holy-x-mas@kaist.ac.kr）

摘要：永磁體直線電機(jī)（ PMLM ）通常用于高精度運(yùn)動(dòng)，然而，推力波動(dòng)影響高速常駐永磁電機(jī)的準(zhǔn)確性，并且惡化系統(tǒng)的伺服性能。為了實(shí)現(xiàn)更精確的運(yùn)動(dòng)性能，有必要消除高速常駐永磁電機(jī)的推力波動(dòng)。通過(guò)實(shí)驗(yàn)，推力波動(dòng)可分為通行伺服期和獨(dú)立期，我們首先證明找到一個(gè)用傅里葉級(jí)數(shù)表示的推理波動(dòng)模型，用來(lái)補(bǔ)償推力波動(dòng)的前饋控制器。擬議的控制計(jì)劃命名為由前饋控制器和RLSE （遞歸最小二乘估計(jì)）自適應(yīng)控制器組成的混合控制器。前饋控制器補(bǔ)償推力波動(dòng)中的通行獨(dú)立組件，而RLSE （遞歸最小二乘估計(jì)）自適應(yīng)控制器補(bǔ)償推力波動(dòng)中的通行伺服組件。混合控制器的性能通過(guò)仿真和實(shí)驗(yàn)來(lái)驗(yàn)證。

關(guān)鍵詞：推力波動(dòng)，高速常駐永磁電機(jī)，RLSE （遞歸最小二乘估計(jì)），混合控制器

1、引言
PMLM （永磁直線電機(jī)）廣泛用于半導(dǎo)體制造工藝和需要高精度檢測(cè)的晶圓或液晶工藝。最近，由于這些加工過(guò)程中的技術(shù)已經(jīng)開(kāi)發(fā)，因此，就需要如速度快，精度高和遠(yuǎn)距離運(yùn)動(dòng)的詳細(xì)說(shuō)明書(shū)。為了實(shí)現(xiàn)高速度，直線電機(jī)應(yīng)該有一個(gè)大的推力，因此它就將充分利用核心類(lèi)型PMLM。一般來(lái)說(shuō)，高精密定位系統(tǒng)采用直線電機(jī)芯，但最大推力芯直線電機(jī)是限制，因此，為了實(shí)現(xiàn)高精確度，我們?cè)O(shè)計(jì)一個(gè)控制方案，以減少系統(tǒng)包括不可避免的推力波動(dòng)的干擾。
由傅里葉分析的推力波動(dòng)可分為視為齒槽力的通行獨(dú)立期視和視為相互紋波的長(zhǎng)期伺服期。通行的伺服期隨著持續(xù)增加的重量，速度，和摩擦力而增加。本