摘 要
研究了一種基于硅懸臂梁諧振器的新型氣體傳感器。該傳感器的敏感環(huán)境中，可同時獲得敏感膜電導率和質(zhì)量變化，測量被測氣體分子的荷質(zhì)比，具有高靈敏度和高選擇性。根據(jù)這一原理，針對氣體傳感器的需求，設(shè)計了硅懸臂梁諧振器化學傳感器結(jié)構(gòu)，進行了仿真優(yōu)化，并采用MEMS表面犧牲層工藝制備該器件，激光頻率儀測量驗證了該微型諧振梁的諧振頻率。
關(guān)鍵詞：MEMS；氣體傳感器；荷質(zhì)比；犧牲層工藝
1. 引言
微氣體傳感器在化學氣相檢測和應(yīng)用方面有著很大的潛力，現(xiàn)在有很多研究都旨在改善微型傳感器的化學選擇性差和識別選擇性差等弊端。傳統(tǒng)傳感器通過測量諧振電導和頻率來檢測氣體。由于可以通過荷質(zhì)比來確定來確定原子，所以我們計劃通關(guān)過測量氣體分子荷質(zhì)比來達到氣體檢測的高選擇性，因此我們設(shè)計了一種能夠都是測量氣體分子的電荷和質(zhì)量的傳感器。經(jīng)過傳感器的氣體被氣體敏感膜吸收后，通過測量氣體敏感膜的電導率和諧振器的轉(zhuǎn)換頻率就能夠獲得氣體的電荷和質(zhì)量。