內(nèi)容摘要：從超精密加工的應(yīng)用場合入手，簡要介紹各個(gè)超精密加工方法和實(shí)現(xiàn)方法。
關(guān)鍵詞： 超精密加工；精密加工機(jī)床；精密加工方法；

一、超精密加工
精密、超精密加工是個(gè)相對(duì)概念，而且隨著工藝水平的普遍提高，不同年代有著不同的劃分界限，但并無嚴(yán)格統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。從目前機(jī)械加工的工藝水平來看，超精密加工一般指加工精度<0.3µm，表面粗糙度Ra值<0.03µm的加工。同時(shí)也包含加工尺寸在微米級(jí)的微細(xì)加工。
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，特別是許多高新科技的發(fā)展，使超精密加工的市場需求呈現(xiàn)出如下的特點(diǎn)：
（1） 要求超精密加工的機(jī)電產(chǎn)品元器件越來越多，不僅有傳統(tǒng)的光學(xué)零件、塊規(guī)等，而且有現(xiàn)代IT中廣泛采用之大規(guī)模集成電路的各種芯片，計(jì)算機(jī)用的磁盤、光盤，復(fù)印機(jī)用的磁鼓；核聚變用的激光反射鏡；導(dǎo)彈制導(dǎo)系統(tǒng)用的激光反射鏡；導(dǎo)航用的陀螺儀腔體；氣浮和靜電陀螺儀的球狀支承；人造衛(wèi)星姿態(tài)控制用的過半球體；衛(wèi)星、航天器上各種儀器儀表用的真空無潤滑軸承；全球定位系統(tǒng)(GPS)和電子對(duì)抗技術(shù)中用的砷化鎵半導(dǎo)體大規(guī)模集成電路；紅外夜視設(shè)備、大型天文望遠(yuǎn)鏡和太空望遠(yuǎn)鏡中用的球面和非球面光學(xué)透鏡，以及多種軍、民使用的高新科技產(chǎn)品中的精密零部件等。