機械精密定位系統(tǒng)的研究與設計（開題報告）
1.1 選題目的
在電子、光學、機械制造等眾多技術(shù)領(lǐng)域中，迫切需要高精度、高分辨率、高可靠性的微位移系統(tǒng)，用以直接工作或配合其他儀器設備完成高精度的研究和使用。精密工作臺作為精密工程中的一種典型結(jié)構(gòu)在精密加工、精密測試和精密機械中被廣泛應用。因此，精密工作臺定位控制系統(tǒng)的研究越來越受到人們的重視。
本次課題主要是為精密激光加工設備的激光頭精確定位設計出一套可靠的定位系統(tǒng)。
1.2 機械精密定位系統(tǒng)的發(fā)展現(xiàn)狀
微定位技術(shù)是現(xiàn)代制造技術(shù)的重要組成部分，在20世紀60年代，通過使用當時適用的精密機床，開始開發(fā)用于生產(chǎn)高質(zhì)量的專用機械或光學元件的技術(shù)。整個70年代，該技術(shù)用于生產(chǎn)具有高精度、多功能及較低的制造成本的光學元件。到了80年代，該技術(shù)就更加廣泛地用于工業(yè)生產(chǎn)，如制造鋁制掃描鏡和計算機存儲盤的鋁制基片等。超精密加工最近的應用是生產(chǎn)光學元件，這種元件具有復雜的形狀，極高的幾何精度及表面質(zhì)量。近年來隨著微電子技術(shù)、宇航、生物工程等學科的迅速發(fā)展，目前己經(jīng)進入了“亞微米－納米”時代。國外(如美國、日本等)在微位移控制技術(shù)方面研究得比較多，技術(shù)己經(jīng)比較成熟，已研制出行程50mm、定位精度達士0.01 um的精密工作臺。國內(nèi)許多單位(如清華大學、東南大學、長春光機所等)也在從事這方面的工作，也已研制出行程在幾十~幾百微米精密工作臺，定位精度達到士0. 05um。
1.3 機械精密定位系統(tǒng)的選型分析（定位系統(tǒng)基本組成）
1.3.1 驅(qū)動方式